在真空技術(shù)應(yīng)用中,電真空器件包含的內(nèi)容比較廣泛。除氣也是是電真空器件制造過(guò)程中關(guān)鍵工序之一。那如果除氣不徹底對(duì)電真空器件的性能會(huì)有什么影響呢,螺桿真空泵廠家與大家一起來(lái)了解下。
電子真空工業(yè)涉及的電真空器件主要有各種電子管、離子管、電子束管、電光源管以及中子管、電子衍射儀、電子顯微鏡、X光顯微鏡等,此外還涉及各種粒子加速器、質(zhì)譜儀、核輻射譜儀、氣體激光器等等。另外像利用真空中的電子束進(jìn)行除氣、熔煉、提純、難熔金屬介質(zhì)的熔化和鉆孔以及焊接、放射性同位素的蒸發(fā)等這些方面也涉及電真空器件。
電真空器件工作時(shí)本身是一個(gè)較為復(fù)雜的物理-化學(xué)系統(tǒng),在它里面可能同時(shí)進(jìn)行著許多物理、化學(xué)過(guò)程,像吸附和脫附、擴(kuò)散與遷移、化合與分解等等,這些過(guò)程的進(jìn)行方式與程度和除氣結(jié)果關(guān)系很大。如果除氣不徹底,對(duì)器件性能的影響主要涉及下述幾個(gè)方面:
首先是如果除氣不徹底,那殘余的氣體中的一些成分可能會(huì)與電真空器件中陰極發(fā)生有害的化學(xué)反應(yīng),損害陰極的發(fā)射能力。
其次是電真空器件若除氣不徹底,使用中殘余氣體電離形成大量的正離子使空間的電子電荷部分中和,造成電位分布畸變,影響電真空器件器件的特性。如使柵流增高、噪聲增大等。另外正離子在電場(chǎng)的作用下飛向低電位電極(特別是陰極),使電極表面產(chǎn)生濺射,濺射物又沉積到其他電極和絕緣體上,可能引起漏電、打火、二次發(fā)射等現(xiàn)象。
第三就是殘余氣體會(huì)加快電真空器件內(nèi)的物質(zhì)遷移過(guò)程。具體的,有實(shí)驗(yàn)表明如電真空器件內(nèi)含侵蝕性氣體(SO2、Cl2、O2等)且由他里較高時(shí),一些金屬(如Cu)在低溫下會(huì)迅速蒸發(fā)。
為避免上述情況的出現(xiàn),電真空器件在除氣過(guò)程中還要綜合考慮器件材料的理化與真空性能,以及真空中的物質(zhì)遷移過(guò)程,陰極、消氣劑與各種氣體的相互作用,另外還需要正確選擇與使用真空排氣系統(tǒng)。
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